潔凈室的整廠規(guī)劃，因涉及范圍極廣，需建筑、水電、空調(diào)、環(huán)保、防震、制造等各項專業(yè)人才共同規(guī)劃，盡管不少潔凈室規(guī)劃，多需要就于既有的建筑物，然而，為避免失誤應(yīng)盡可能事先確認(rèn)下列事項：
1. 潔凈度等級；　
2. 室壓的平衡措施；
3. 溫濕度要求；
4. 機(jī)器設(shè)備的必要性；
5. 確定生產(chǎn)流程；
6. 局部排氣的必要性；
7. 日后擴(kuò)充彈性；　
8. 足夠維護(hù)保養(yǎng)空間；
9. 空調(diào)送風(fēng)方式；　
10. 員工休息區(qū)的安排；
11. 設(shè)施與動力的配置；　
12. 室內(nèi)凈高與樓板載重；
13. 設(shè)備空間與管道間；
14. 門窗宜少，氣密性要佳；
15. 靜電、振動及噪音；
16. 生產(chǎn)線與活動線少交接；
17. 公害、污染與防災(zāi)；
18. 安裝及運(yùn)轉(zhuǎn)成本之衡量。